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在生產制造中良好的工作環境是機械加工質量的重要保障，對精密加工及超精密零件加工質量有重要影響。在超精密零件的實際加工過程中，空氣中的塵埃大于磨粒，有時會對加工表面造成損傷，影響磨粒的加工效果，因此需要超精密加工前的空氣凈化。直徑在0.
