超精密加工(gong)的(de)(de)空氣(qi)凈化(hua)等級必須達到(dao)100~10000級。 清潔是(shi)(shi)最常見的(de)(de)空氣(qi)凈化(hua)方(fang)式，凈化(hua)后的(de)(de)加工(gong)車間稱為(wei)潔凈室(shi)(shi)、超潔凈室(shi)(shi)。 一般而(er)言，凈化(hua)主要有兩種(zhong)(zhong)類型，一種(zhong)(zhong)是(shi)(shi)整(zheng)體凈化(hua)，一種(zhong)(zhong)是(shi)(shi)局(ju)部(bu)凈化(hua)。 局(ju)部(bu)凈化(hua)具有經(jing)濟性，通(tong)過使正壓的(de)(de)清潔空氣(qi)流入工(gong)作(zuo)(zuo)臺等局(ju)部(bu)加工(gong)區域(yu)，防止外部(bu)空氣(qi)流入，實現(xian)凈化(hua)。 由于工(gong)作(zuo)(zuo)人員的(de)(de)頭發、工(gong)作(zuo)(zuo)服等可能帶來灰塵(chen)，在進入工(gong)作(zuo)(zuo)前，工(gong)作(zuo)(zuo)人員必須清理室(shi)(shi)外更(geng)換特(te)制(zhi)衣物，被風(feng)淋濕，有效避免灰塵(chen)對加工(gong)質量的(de)(de)影響。

加工機理的影響分析是近年來新技術、新設備不斷涌現，精密加工也應不斷加大研究力度，探索新的加工方式。 從傳統加工方面來說，金剛石刀具的超精密加工、精密高速加工、精密研磨帶磨削、磨料加工等已經取得了很好的效果； 從非傳統加工方面來說，激光束、電子束及離子束等多種高能束精密加工、超聲波加工、電火花加工及電化學加工等具有明顯優勢，特別是組合加工方式的應用，如超聲波珩磨、電解研磨等技術其突破性發展的意義在于，主要表現在去除加工的明確提出，加工與變形加工的有效融合，特別是疊加加工快速成形的優勢，對加工技術的發展具有十分重要的促進作用。