超精密(mi)加(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)的空氣凈(jing)化(hua)(hua)等(deng)級必須達到100~10000級。 清潔是(shi)最常見的空氣凈(jing)化(hua)(hua)方式，凈(jing)化(hua)(hua)后的加(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)車間稱為潔凈(jing)室(shi)、超潔凈(jing)室(shi)。 一(yi)般而言，凈(jing)化(hua)(hua)主要有兩種類(lei)型，一(yi)種是(shi)整(zheng)體凈(jing)化(hua)(hua)，一(yi)種是(shi)局(ju)部凈(jing)化(hua)(hua)。 局(ju)部凈(jing)化(hua)(hua)具有經濟性，通過使正(zheng)壓的清潔空氣流入(ru)工(gong)(gong)(gong)(gong)作(zuo)(zuo)臺等(deng)局(ju)部加(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)區域，防止外部空氣流入(ru)，實現凈(jing)化(hua)(hua)。 由(you)于工(gong)(gong)(gong)(gong)作(zuo)(zuo)人(ren)(ren)員(yuan)的頭發(fa)、工(gong)(gong)(gong)(gong)作(zuo)(zuo)服(fu)等(deng)可能帶(dai)來灰(hui)塵，在進入(ru)工(gong)(gong)(gong)(gong)作(zuo)(zuo)前，工(gong)(gong)(gong)(gong)作(zuo)(zuo)人(ren)(ren)員(yuan)必須清理室(shi)外更換特制(zhi)衣物，被(bei)風(feng)淋(lin)濕，有效避免灰(hui)塵對加(jia)(jia)(jia)工(gong)(gong)(gong)(gong)質量的影響。

加工機理的影響分析是近年來新技術、新設備不斷涌現，精密加工也應不斷加大研究力度，探索新的加工方式。 從傳統加工方面來說，金剛石刀具的超精密加工、精密高速加工、精密研磨帶磨削、磨料加工等已經取得了很好的效果； 從非傳統加工方面來說，激光束、電子束及離子束等多種高能束精密加工、超聲波加工、電火花加工及電化學加工等具有明顯優勢，特別是組合加工方式的應用，如超聲波珩磨、電解研磨等技術其突破性發展的意義在于，主要表現在去除加工的明確提出，加工與變形加工的有效融合，特別是疊加加工快速成形的優勢，對加工技術的發展具有十分重要的促進作用。