超精密加(jia)工(gong)的(de)空(kong)氣凈(jing)化(hua)等級必須(xu)達到100~10000級。 清(qing)(qing)潔是(shi)(shi)最常見的(de)空(kong)氣凈(jing)化(hua)方式，凈(jing)化(hua)后(hou)的(de)加(jia)工(gong)車間稱為潔凈(jing)室、超潔凈(jing)室。 一(yi)般而言，凈(jing)化(hua)主要有兩種類型，一(yi)種是(shi)(shi)整體凈(jing)化(hua)，一(yi)種是(shi)(shi)局(ju)部(bu)凈(jing)化(hua)。 局(ju)部(bu)凈(jing)化(hua)具有經(jing)濟性，通(tong)過使正壓的(de)清(qing)(qing)潔空(kong)氣流(liu)入(ru)工(gong)作(zuo)臺等局(ju)部(bu)加(jia)工(gong)區域，防止外部(bu)空(kong)氣流(liu)入(ru)，實現凈(jing)化(hua)。 由于工(gong)作(zuo)人(ren)員(yuan)的(de)頭發、工(gong)作(zuo)服等可能帶來(lai)灰(hui)塵(chen)，在(zai)進入(ru)工(gong)作(zuo)前，工(gong)作(zuo)人(ren)員(yuan)必須(xu)清(qing)(qing)理室外更換特(te)制(zhi)衣物，被風淋(lin)濕，有效避免灰(hui)塵(chen)對加(jia)工(gong)質量(liang)的(de)影響。

加工機理的影響分析是近年來新技術、新設備不斷涌現，精密加工也應不斷加大研究力度，探索新的加工方式。 從傳統加工方面來說，金剛石刀具的超精密加工、精密高速加工、精密研磨帶磨削、磨料加工等已經取得了很好的效果； 從非傳統加工方面來說，激光束、電子束及離子束等多種高能束精密加工、超聲波加工、電火花加工及電化學加工等具有明顯優勢，特別是組合加工方式的應用，如超聲波珩磨、電解研磨等技術其突破性發展的意義在于，主要表現在去除加工的明確提出，加工與變形加工的有效融合，特別是疊加加工快速成形的優勢，對加工技術的發展具有十分重要的促進作用。