超精密加工(gong)(gong)的(de)(de)空氣(qi)凈(jing)(jing)化等(deng)級必須達(da)到(dao)100~10000級。 清潔(jie)是最常(chang)見(jian)的(de)(de)空氣(qi)凈(jing)(jing)化方式(shi)，凈(jing)(jing)化后的(de)(de)加工(gong)(gong)車間稱(cheng)為潔(jie)凈(jing)(jing)室、超潔(jie)凈(jing)(jing)室。 一般而言，凈(jing)(jing)化主要有兩種類型，一種是整體凈(jing)(jing)化，一種是局部凈(jing)(jing)化。 局部凈(jing)(jing)化具有經濟性，通過使(shi)正(zheng)壓(ya)的(de)(de)清潔(jie)空氣(qi)流(liu)入工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)臺等(deng)局部加工(gong)(gong)區域，防止外(wai)(wai)部空氣(qi)流(liu)入，實現凈(jing)(jing)化。 由于工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)人(ren)員(yuan)的(de)(de)頭發(fa)、工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)服等(deng)可能帶來(lai)灰(hui)塵(chen)，在進入工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)前，工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)人(ren)員(yuan)必須清理室外(wai)(wai)更換特制衣物，被風淋濕，有效避免灰(hui)塵(chen)對(dui)加工(gong)(gong)質量的(de)(de)影響。

加工機理的影響分析是近年來新技術、新設備不斷涌現，精密加工也應不斷加大研究力度，探索新的加工方式。 從傳統加工方面來說，金剛石刀具的超精密加工、精密高速加工、精密研磨帶磨削、磨料加工等已經取得了很好的效果； 從非傳統加工方面來說，激光束、電子束及離子束等多種高能束精密加工、超聲波加工、電火花加工及電化學加工等具有明顯優勢，特別是組合加工方式的應用，如超聲波珩磨、電解研磨等技術其突破性發展的意義在于，主要表現在去除加工的明確提出，加工與變形加工的有效融合，特別是疊加加工快速成形的優勢，對加工技術的發展具有十分重要的促進作用。