超精密(mi)加工(gong)(gong)(gong)(gong)的空(kong)氣(qi)凈化(hua)(hua)(hua)等級(ji)必須達到(dao)100~10000級(ji)。 清(qing)潔是最常見的空(kong)氣(qi)凈化(hua)(hua)(hua)方式，凈化(hua)(hua)(hua)后的加工(gong)(gong)(gong)(gong)車(che)間稱為潔凈室、超潔凈室。 一(yi)(yi)(yi)般而(er)言(yan)，凈化(hua)(hua)(hua)主(zhu)要有兩種類型，一(yi)(yi)(yi)種是整體凈化(hua)(hua)(hua)，一(yi)(yi)(yi)種是局部(bu)凈化(hua)(hua)(hua)。 局部(bu)凈化(hua)(hua)(hua)具有經濟性，通過使正壓的清(qing)潔空(kong)氣(qi)流(liu)入(ru)(ru)工(gong)(gong)(gong)(gong)作臺等局部(bu)加工(gong)(gong)(gong)(gong)區域(yu)，防止外部(bu)空(kong)氣(qi)流(liu)入(ru)(ru)，實現凈化(hua)(hua)(hua)。 由(you)于工(gong)(gong)(gong)(gong)作人(ren)員的頭(tou)發(fa)、工(gong)(gong)(gong)(gong)作服等可能帶(dai)來灰塵，在進(jin)入(ru)(ru)工(gong)(gong)(gong)(gong)作前，工(gong)(gong)(gong)(gong)作人(ren)員必須清(qing)理室外更換特制衣(yi)物，被風淋濕，有效避(bi)免灰塵對加工(gong)(gong)(gong)(gong)質量的影(ying)響。

加工機理的影響分析是近年來新技術、新設備不斷涌現，精密加工也應不斷加大研究力度，探索新的加工方式。 從傳統加工方面來說，金剛石刀具的超精密加工、精密高速加工、精密研磨帶磨削、磨料加工等已經取得了很好的效果； 從非傳統加工方面來說，激光束、電子束及離子束等多種高能束精密加工、超聲波加工、電火花加工及電化學加工等具有明顯優勢，特別是組合加工方式的應用，如超聲波珩磨、電解研磨等技術其突破性發展的意義在于，主要表現在去除加工的明確提出，加工與變形加工的有效融合，特別是疊加加工快速成形的優勢，對加工技術的發展具有十分重要的促進作用。