超精密加工(gong)(gong)的空(kong)(kong)氣凈化(hua)(hua)(hua)等級(ji)必須達到100~10000級(ji)。 清(qing)潔(jie)(jie)是最常見的空(kong)(kong)氣凈化(hua)(hua)(hua)方式，凈化(hua)(hua)(hua)后的加工(gong)(gong)車間稱(cheng)為潔(jie)(jie)凈室、超潔(jie)(jie)凈室。 一(yi)般而言(yan)，凈化(hua)(hua)(hua)主要有兩種(zhong)類型，一(yi)種(zhong)是整體凈化(hua)(hua)(hua)，一(yi)種(zhong)是局部(bu)(bu)(bu)凈化(hua)(hua)(hua)。 局部(bu)(bu)(bu)凈化(hua)(hua)(hua)具有經濟(ji)性(xing)，通過使正壓的清(qing)潔(jie)(jie)空(kong)(kong)氣流入工(gong)(gong)作(zuo)臺(tai)等局部(bu)(bu)(bu)加工(gong)(gong)區(qu)域，防止外部(bu)(bu)(bu)空(kong)(kong)氣流入，實現凈化(hua)(hua)(hua)。 由于工(gong)(gong)作(zuo)人(ren)員(yuan)的頭發、工(gong)(gong)作(zuo)服等可(ke)能(neng)帶來灰塵，在進入工(gong)(gong)作(zuo)前，工(gong)(gong)作(zuo)人(ren)員(yuan)必須清(qing)理室外更換特制衣物，被(bei)風(feng)淋濕，有效避免灰塵對加工(gong)(gong)質量的影響。

加工機理的影響分析是近年來新技術、新設備不斷涌現，精密加工也應不斷加大研究力度，探索新的加工方式。 從傳統加工方面來說，金剛石刀具的超精密加工、精密高速加工、精密研磨帶磨削、磨料加工等已經取得了很好的效果； 從非傳統加工方面來說，激光束、電子束及離子束等多種高能束精密加工、超聲波加工、電火花加工及電化學加工等具有明顯優勢，特別是組合加工方式的應用，如超聲波珩磨、電解研磨等技術其突破性發展的意義在于，主要表現在去除加工的明確提出，加工與變形加工的有效融合，特別是疊加加工快速成形的優勢，對加工技術的發展具有十分重要的促進作用。