超精密加工(gong)(gong)的(de)(de)空(kong)氣凈(jing)(jing)化(hua)等(deng)級必須達(da)到100~10000級。 清(qing)潔是最常見(jian)的(de)(de)空(kong)氣凈(jing)(jing)化(hua)方式，凈(jing)(jing)化(hua)后的(de)(de)加工(gong)(gong)車間稱為潔凈(jing)(jing)室(shi)、超潔凈(jing)(jing)室(shi)。 一般而言(yan)，凈(jing)(jing)化(hua)主要有(you)(you)兩種類(lei)型，一種是整體凈(jing)(jing)化(hua)，一種是局部凈(jing)(jing)化(hua)。 局部凈(jing)(jing)化(hua)具有(you)(you)經濟性，通過(guo)使正壓的(de)(de)清(qing)潔空(kong)氣流(liu)入工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)臺等(deng)局部加工(gong)(gong)區域，防止外部空(kong)氣流(liu)入，實(shi)現凈(jing)(jing)化(hua)。 由于工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)人員(yuan)(yuan)的(de)(de)頭發、工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)服等(deng)可能帶(dai)來灰(hui)塵，在(zai)進入工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)前(qian)，工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)人員(yuan)(yuan)必須清(qing)理室(shi)外更換特制衣物，被風淋(lin)濕，有(you)(you)效避(bi)免(mian)灰(hui)塵對加工(gong)(gong)質量(liang)的(de)(de)影(ying)響。

加工機理的影響分析是近年來新技術、新設備不斷涌現，精密加工也應不斷加大研究力度，探索新的加工方式。 從傳統加工方面來說，金剛石刀具的超精密加工、精密高速加工、精密研磨帶磨削、磨料加工等已經取得了很好的效果； 從非傳統加工方面來說，激光束、電子束及離子束等多種高能束精密加工、超聲波加工、電火花加工及電化學加工等具有明顯優勢，特別是組合加工方式的應用，如超聲波珩磨、電解研磨等技術其突破性發展的意義在于，主要表現在去除加工的明確提出，加工與變形加工的有效融合，特別是疊加加工快速成形的優勢，對加工技術的發展具有十分重要的促進作用。