超(chao)精密加工(gong)(gong)的空(kong)氣(qi)凈(jing)化(hua)(hua)等(deng)級必須(xu)達到100~10000級。 清潔(jie)(jie)是(shi)最常見的空(kong)氣(qi)凈(jing)化(hua)(hua)方式，凈(jing)化(hua)(hua)后的加工(gong)(gong)車間(jian)稱(cheng)為潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)、超(chao)潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)。 一般而言，凈(jing)化(hua)(hua)主要有兩種類(lei)型，一種是(shi)整體凈(jing)化(hua)(hua)，一種是(shi)局(ju)部凈(jing)化(hua)(hua)。 局(ju)部凈(jing)化(hua)(hua)具有經濟(ji)性(xing)，通過使正壓的清潔(jie)(jie)空(kong)氣(qi)流入工(gong)(gong)作(zuo)臺等(deng)局(ju)部加工(gong)(gong)區(qu)域，防止外(wai)部空(kong)氣(qi)流入，實現凈(jing)化(hua)(hua)。 由于工(gong)(gong)作(zuo)人員(yuan)的頭發、工(gong)(gong)作(zuo)服等(deng)可能帶(dai)來灰(hui)塵，在進入工(gong)(gong)作(zuo)前，工(gong)(gong)作(zuo)人員(yuan)必須(xu)清理室(shi)(shi)外(wai)更換特制衣(yi)物(wu)，被風淋(lin)濕(shi)，有效避免灰(hui)塵對加工(gong)(gong)質量(liang)的影響。

加工機理的影響分析是近年來新技術、新設備不斷涌現，精密加工也應不斷加大研究力度，探索新的加工方式。 從傳統加工方面來說，金剛石刀具的超精密加工、精密高速加工、精密研磨帶磨削、磨料加工等已經取得了很好的效果； 從非傳統加工方面來說，激光束、電子束及離子束等多種高能束精密加工、超聲波加工、電火花加工及電化學加工等具有明顯優勢，特別是組合加工方式的應用，如超聲波珩磨、電解研磨等技術其突破性發展的意義在于，主要表現在去除加工的明確提出，加工與變形加工的有效融合，特別是疊加加工快速成形的優勢，對加工技術的發展具有十分重要的促進作用。