超精密加工(gong)(gong)的(de)空(kong)氣凈(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)等(deng)級(ji)必須達到100~10000級(ji)。 清(qing)(qing)潔是最(zui)常見的(de)空(kong)氣凈(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)方式，凈(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)后的(de)加工(gong)(gong)車間稱為(wei)潔凈(jing)室、超潔凈(jing)室。 一般而言，凈(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)主要有兩種類型(xing)，一種是整體(ti)凈(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)，一種是局(ju)部凈(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)。 局(ju)部凈(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)具(ju)有經(jing)濟(ji)性，通過(guo)使正壓的(de)清(qing)(qing)潔空(kong)氣流入工(gong)(gong)作臺(tai)等(deng)局(ju)部加工(gong)(gong)區域，防止外部空(kong)氣流入，實現凈(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)。 由于工(gong)(gong)作人(ren)員(yuan)(yuan)的(de)頭發、工(gong)(gong)作服等(deng)可(ke)能(neng)帶來(lai)灰(hui)塵，在進入工(gong)(gong)作前，工(gong)(gong)作人(ren)員(yuan)(yuan)必須清(qing)(qing)理室外更(geng)換特(te)制衣物，被風淋濕，有效避免(mian)灰(hui)塵對加工(gong)(gong)質量的(de)影響。

加工機理的影響分析是近年來新技術、新設備不斷涌現，精密加工也應不斷加大研究力度，探索新的加工方式。 從傳統加工方面來說，金剛石刀具的超精密加工、精密高速加工、精密研磨帶磨削、磨料加工等已經取得了很好的效果； 從非傳統加工方面來說，激光束、電子束及離子束等多種高能束精密加工、超聲波加工、電火花加工及電化學加工等具有明顯優勢，特別是組合加工方式的應用，如超聲波珩磨、電解研磨等技術其突破性發展的意義在于，主要表現在去除加工的明確提出，加工與變形加工的有效融合，特別是疊加加工快速成形的優勢，對加工技術的發展具有十分重要的促進作用。